洁净室气流组织考虑原则
当产品要求洁净度为100级时,选用层流流型;当产品要求洁净度为1000~100000级时,选用乱流流型。
减少涡流,避免把工作区以外的污染物带入工作区。
为了防止灰尘的二次飞扬,气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。
工作区的气流应均匀,流速必须满足工艺和卫生的要求;洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来,使污染物在扩散之前便流向回风口。
工作设备布置时要留有一定的间隔,为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件:气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。
洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时,宜将其置于工作区气流的上风侧,以提高室内的空气洁净度。
洁净室内有通风柜时,宜置于工作区气流的下风侧,以减少对室内的污染。
洁净车间,亦称洁净室、无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(医疗范畴谓之感染)。
人是污染源的发源地:静坐时,人体每分钟散发10万个粒子(粒≥0.5μm);
每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。
半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80% 。