Mini CPS 系列微型真空探针台是一款门用于材料电学表征和测量的微型桌面型电学测量台，主要用于介电、压电、铁电、热释电、光电等材料的电学性能表征和测量，还可以在真空、气氛环境下对材料进行电学测量评估，是实验室测量薄膜材料电学性能的业工具，广泛用于高校、科研、航天航空等域。

技术规格

温度范围：-160℃~450℃

升温斜率：0-10℃/min

测量传感器：PT100

制冷方式：电声制冷或液氮制冷

降温时间：30min~-160℃（液氮）

真空接口：KF25

光学观察窗：26mm

测量环境：真空、惰性、氧化性、静态、动态

控温精度：±0.5℃

样品台尺寸：40×40mm

样品尺寸：φ＜22mm

探针臂：4个

Y轴：行程±5mm，精度±0.01mm

X轴：行程±5mm，精度±0.01mm

Z轴：行程±5mm，精度±0.01mm

设备尺寸：529×618×456mm

数据格式：Excel格式

保修期：1年

功能特点

无人机外观设计开发，让低温探针台更加小巧精密；

XYZ三维移动平台的开发，位移小分辨率10um以下；

电声制冷机制冷加热 平台应用开发；

液氮制冷加热一体化平台应用开发；

利用机械弹性设计，低温环境下也有弹性，避免在探针压薄膜样品时损坏薄膜；

实现-160℃~450℃的制冷和加热测量环境，控温精度达到±0.5℃；

采用1000X放大镜显微镜设计，有利于实时观察样品的测量状态；

广泛用于复杂、高速器件的精密电气测量，可靠性高；

高低温平台、测量夹具、测量软件等集成于一体，让操作变得简单；

可以通过USB传输数据，数据格式为Excel格式 ;