在100?1000nm范围内,具有不同特性的背散射电子以不同的原子序数发射。 因此,背向散射电子图像具有形态特征和辨别原子序数的能力。 因此,反向散射电子图像可以反映化学元素。 成分分配。 当前的扫描电子显微镜非常强大,任何精细的结构或表面特征都可以放大到数十万倍用于观察和分析。
就PCB或焊点失效分析而言,SEM主要用于分析失效机理。 具体而言,它用于观察焊盘表面的形态,焊点的金相结构,并测量金属间化学分析,可焊性涂层分析和锡晶须分析。 与光学显微镜不同,扫描电子显微镜形成电子图像,因此只有黑色和白色,并且扫描电子显微镜的样品需要导电。 非导体和某些半导体需要喷涂金或碳。 否则,样品表面上的电荷积累会影响样品的观察。 另外,SEM图像的景深远大于光学显微镜的景深。 对于不均匀样品,例如金相组织,微裂纹和锡晶须,这是一种重要的分析方法。