四氟化碳,又名四氟甲烷,化学式为CF4,它既可以被视为一种卤代烃(有机物),也可以被视为一种无机化合物,常温常压下为无色气体,不溶于水,溶于苯和氯仿,主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
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