Renishaw雷尼绍 RESOLUTE UHV（超高真空）非增量式光栅

RESOLUTE UHV为超高真空应用提供非增量式光栅技术，帮助客户提高测量效率，降低损坏风险，并增强 可靠性。

RESOLUTE UHV采用雷尼绍革命性创新的非增量式光栅技术，通过一个适合在低达10 -10 Torr的超高真空条件下应用的读数头充分发挥其技术优势。新的RESOLUTE UHV光栅系列的构造有利于进行残余气体分析 (RGA)而不会污染真空环境，非常适合性能高、半导体和科研等应用领域。

顶部测量效率显著提高

RESOLUTE的性能优于其他所有为UHV环境设计的非增量式光栅。RESOLUTE的分辨率达到32位（直线光栅达到1 nm），速度达到36 000转/分（直线光栅达到100 m/s），其超凡的技术指标是光栅技术的一大新突破!

但RESOLUTE带来的不仅仅是高速度……的检测技术还兼具内在的超低电子细分误差 (SDE) 和极低噪音（抖动）特点。

顶部结果：

速度波动稳定性提高10倍

位置稳定性提高10倍

可重复性提高10倍

电机产生的热量减少

顶部降低损坏风险

RESOLUTE是一款真正的非增量式光栅，意味着开启之后立即确定位置。

无需“开启并晃动”

无需备用电池

立即实现对轴控制

快速电机换向

保持高负载

例如，这些特点意味着在断电后仍可以确保机器人对晶片进行拾取操作。

顶部可靠性增强

RESOLUTE的中心技术消除了几种与光栅反馈有关的很常见失效模式。每次读数头收到来自主控制器的请求时，RESOLUTE栅距图像，以此确定绝dui位置。图像包含高度冗余，而读数头应用复杂的交叉检查和错误剔除，将定位精度保持在1 nm范围内。这种技术意味着不会发生计数错误或者“丢数”情况。

此外，RESOLUTE采用独有的内置位置校验算法，在输出之前主动校验每个位置读数，以便在任何潜在问题到达控制器之前就能及时提醒。同时它还可以监测速度、信号状态和温度。

RESOLUTE使用纯串行通信向控制器发送已校验的位置信息。根据RESOLUTE使用的所有协议，应用CRC检查，以便能够检测出传输过程中的数据损坏。

顶部直线光栅和圆光栅

RESOLUTE UHV提供一系列适合各种直线光栅和圆光栅应用的栅尺。

顶部直线光栅选项

名称

材料

类型

精度

长度

RELA

ZeroMet

具有极低CTE的栅尺

±1 μm

1.13 m

RSLA

不锈钢

栅尺

长度1 m时精度±1.5 μm

长度2 m时精度±2.25 μm

长度3 m时精度±3 μm

长度5 m时精度±4 μm

5 m

RTLA

不锈钢

配合FASTRACK使用的钢带栅尺

±5 μm/m

10 m

RTLA-S

不锈钢

带自带不干胶的钢带栅尺

±5 μm/m

10 m

顶部圆光栅选项：

RESA圆栅具有低转动惯量和大通孔。尺寸从52 mm至550 mm。

REXA超高精度圆栅配用双读数头使用时保证精度优于±1角秒（在尺寸100 mm和更大的圆栅上）。尺寸从52 mm至550 mm。

Renishaw雷尼绍RESR系列圆光栅

雷尼绍RESR圆光栅具有优越的性能。RESR刻划精度达±0.5角秒、分辨率达0.004角秒，适用于精度要求的测量场合。

顶部RESR圆光栅

RESR圆光栅是一种是在柱面上直接刻线的一体式不锈钢圆光栅。20 μm栅距RESR与RGH20和RGH35读数头兼容，而40 μm栅距RESR与RGH34和RGH40读数头兼容。

刻划精度达±0.5角秒，系统重复性达0.004角秒

提供多种直径和刻线数，可与一系列具有行业标准的控制器兼容（直径从52 mm到550 mm，刻线数从4096到86 400）

具有专Li的锥面安装方式极大地降低了安装误差，简化了系统集成

10 mm x 10 mm小截面圆光栅

低质量与低转动惯量的设计增强了动态性能

一体式不锈钢圆光栅能够抵御振动、机械和热撞击，以及热负载

为了保证更高的加速度和减速度以及更快的恢复时间，还可提供转动量极低的"B"截面圆光栅

参考零位（具有可重复的起始位置）由单独的励磁块提供

20 μm栅距圆光栅与UHV兼容型RGH20F读数头兼容

升级为TONiC

顶部RGH20读数头的特性与优点

读数头结构小巧，能够提供具有行业标准的模拟和数字输出

非接触式设计提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零

读数头的LED安装指示灯简化了安装过程

具有专li的光学滤波系统在大多数开放式光栅都不适用的条件下，仍具有优异的信号稳定性

REF接口提供自动增益控制 (AGC)、自动平衡控制 (ABC) 和自动偏移量控制 (AOC)，极大降低了周期误差 (<±50 nm)

参考零位提供可重复的起始位置，而限位开关则指示轴行程的终点

可提供超高真空兼容型RGH20F版本

技术规格

读数头尺寸

14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20) (H x L x W)

10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20F)

9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm (RGH35)

输出（分辨率）

RS422：5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm（RGH20F）、10 nm（RGH20F）、5 nm（RGH20F）

模拟：1 Vpp

细分

RGH20 — 内置细分电路达50 nm

RGH20F — REF接口（x4至x4 000）（可获得从x4至x4096的二进制细分系数）

RGH35 — RGI34接口（x4至x400）

参考零位 励磁块上的螺栓

限位开关 单限位（RGH40与40 μm栅距RESR具有双限位）

速度高达 2938转/分（直径为?52 mm时为20 μm）

间隙公差

0.8 ±0.08 mm

栅尺类型 20 μm栅距（与RGH20和RGH35兼容）和40 μm栅距（与RGH34和RGH40兼容）RESR圆光栅

真空兼容 是 — RGH20F和20 μm栅距RESR

顶部系统精度 — 20 μm栅距RESR与RGH20

标称外径 (mm)

系统精度（角秒）

52 5.6

57 5.1

75 3.9

100 2.9

101 2.9

103 2.8

104 2.8

115 2.5

150 1.9

200 1.4

标称外径 (mm)

系统精度（角秒）

206 1.4

209 1.4

229 1.3

255 1.1

300 1.0

350 0.8

413 0.7

417 0.7

489 0.6

550 0.5

注：系统误差等于刻度误差加上电子细分误差 (SDE)。