洁净厂房建筑方式可分为土建结构和装配式两种，其中普遍采用装配式。
装配式洁净厂房系统主要由初，中，高三级空气过滤的空调送风回风和 排风系统；动力及照明系统；工作环境参数的监测报警消防和通讯系统；人流和物流系统；工艺管路系统；维护结构及静电地面处理等各方面所要求的实施内容组成，形成空调净化系统工程所包含的整个设备和器材的配套和建筑安装内容。
施工工艺：
1、清理地面，清除浮沉，定位铺设基准线
2、铺拉接地倒网(铜箔)，涂刷导电胶
3、 铺贴PVC地板，滚压PVC地板
4、开4mm静电接地.适用场所：电子厂，半导体厂，光电产业，包装品，机电房、汽车工业等02 防静电PVC地板 。
环氧树脂防静电自流平型
施工工艺：
1. 基材处理：打磨并清洁地面，要求基材干燥、无空鼓；
2.底涂涂装：导电底涂涂装；
3. 铺设铜箔：横竖交叉铺设；
4、中涂涂装：根据所落地面厚度镊防静电中涂；
5、面涂涂装：镬图环氛防静电自流平面漆。
适用场所：适用于通讯设备制造厂、芯片制造厂、S下M车间、光学仪器厂、实验室等有较高防静电要求的洁净厂房。
洁净室气流组织考虑原则
（1） 当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。
（2） 减少涡流，避免把工作区以外的污染物带入工作区。
（3） 为了防止灰尘的二次飞扬，气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。
（4） 工作区的气流应均匀，流速必须满足工艺和卫生的要求；洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来，使污染物在扩散之前便流向回风口。
（5） 工作设备布置时要留有一定的间隔，为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件：气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。
（6） 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时，宜将其置于工作区气流的上风侧，以提高室内的空气洁净度。
（7） 洁净室内有通风柜时，宜置于工作区气流的下风侧，以减少对室内的污染。