Soft collar 为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成,用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温,解决了以往用保温棉存在的两大问题:一是保温棉长时间高温下出现粉化脱落从而影响工作腔体洁净度,二是手动堵塞保温棉不均匀,影响工作区温度稳定性和均匀性。本产品可长期使用在高温下,不粉化,不硬化,不氧化,不变形,防震、耐腐蚀。
技术指标:
保温材料:进口石英纤维棉
产品尺寸:根据客户扩散炉或PECVD设备炉体口径定制
使用温度:≤1287℃
线性收缩:≤0.1%
Soft collar 为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成,用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温,解决了以往用保温棉存在的两大问题:一是保温棉长时间高温下出现粉化脱落从而影响工作腔体洁净度,二是手动堵塞保温棉不均匀,影响工作区温度稳定性和均匀性。本产品可长期使用在高温下,不粉化,不硬化,不氧化,不变形,防震、耐腐蚀。
技术指标:
保温材料:进口石英纤维棉
产品尺寸:根据客户扩散炉或PECVD设备炉体口径定制
使用温度:≤1287℃
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